通過整合光學(xué)顯微鏡的測量能力實現(xiàn)精確測量
多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗成就了優(yōu)異的觀察性能
昆山奧巴儀器行供應(yīng)奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡系列采用了當前zui光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外，像差也被完全消除，以確保實現(xiàn)對微小細節(jié)的高精度測量。
作為高度測量的先鋒，繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量
共聚焦自動對焦系統(tǒng)光路 |
隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為第一個成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。 |
嚴格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務(wù)。
測量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)
STM7測量顯微鏡設(shè)計注重易用性
提供載物臺以適合眼下的樣本大小
[常見問題]
Ÿ 短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。
Ÿ 目前為止，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費事費時，效率不高。
Ÿ 由于可測量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上，以實現(xiàn)一次性同時測量。
[STM7解決方案]
共有四種獨特的正方形測量行程的載物臺可供選用，分別為：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。
Ÿ 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動，并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。
使用相同的顯微鏡進行低倍率和高倍率觀察
[常見問題]
大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以專用測量物鏡或?qū)Ｓ媒鹣辔镧R，無法同時滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案]
奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后，便可使用金相物鏡。這意味著， STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測量光學(xué)系統(tǒng)同時結(jié)合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式，無論是測量大型樣品還是精細樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對應(yīng)并協(xié)助用戶選擇zui佳的觀察方法。
測量物鏡
由于測量物鏡具有非常長的工作距離，因此可以在對表面起伏較大的樣品進行聚焦的時候，無需擔心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大的視場。
金相物鏡
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是，在明場觀察之外還可以對應(yīng)暗場，偏光和微分干涉觀察。
明場圖像 |
暗場圖像 |
手動和電動調(diào)焦模式的選擇
STM7測量顯微鏡系列包括手動調(diào)焦和電動調(diào)焦兩個系列
對于Z軸的上下調(diào)焦，有手動型和電動型兩種系列供您選擇。請根據(jù)樣品和測量內(nèi)容選擇符合您需求的機型，而不需要考慮載
物臺的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標尺，各種型號STM7都可以對應(yīng)3軸測量。
手動Z軸調(diào)焦機型 |
手動Z軸調(diào)焦機型提供了卓越的成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕，可以快速的上下移動Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。 |
電動Z軸調(diào)焦機型 |
使用電動調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進行聚焦和高度測量時的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計使使用者可以以習慣的類似手動的方式進行操作，同時電動機型還可以配備自動聚焦單元。 |
一個具有突破性設(shè)計的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性
[常見問題]
Ÿ 增加功能時需要添置額外的操作單元。操作者需要同時操作多個單元而導(dǎo)致無法高效率地進行測量。操作時也經(jīng)常會發(fā)生找不到操作單元的情況。
Ÿ 增加功能時需要添置額外的操作單元。操作者需要同時操作多個單元而導(dǎo)致無法高效率地進行測量。操作時也經(jīng)常會發(fā)生找不到操作單元的情況。
[STM7解決方案]
控制裝置
對于奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡系列，只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測量顯微鏡操作，包括重置計數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動聚焦等功能。為了提高效率和方便性，您可以將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作。
用于手動Z軸調(diào)焦機型：
STM7-HS手動操作裝置 |
用于電動Z軸調(diào)焦機型：
STM7-MCZ電動操作裝置 |
控制箱
各個單元的電源和通信均被集成在一個單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設(shè)計可以zui大程度地減少占用工作空間。
大大提高了觀察和測量效率的光源管理器
[常見問題]
Ÿ 傳統(tǒng)測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實現(xiàn)光強的定量控制。這樣每次測量時的光強無法保持一致，導(dǎo)致測量值也發(fā)
生變化。
Ÿ 使用傳統(tǒng)測量顯微鏡時，每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強，這使得工作流程非常低效。
[STM7解決方案]
能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示
 |
STM7測量顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)光強的定量數(shù)字化顯示，保證了能在始終一致的照明條件下實施觀察。 |
物鏡切換時，無需手動調(diào)節(jié)光強
光強度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會自動識別目前使用的物鏡，結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)
值功能，可以為每個物鏡注冊照明方式和光強。這樣每當切換物鏡后，可以自動調(diào)節(jié)光強和調(diào)整照明方式。象以前每次
切換倍率后手動調(diào)節(jié)光強的操作，現(xiàn)在就可以省略了。
5倍
強度50 |
20X
強度70 |
100X
強度120 |
可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計數(shù)器，確保能隨時迅速地檢查測量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。
[常見問題]
需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運行狀以及測量結(jié)果時，因為是在不同單元上顯示使操作變得非常繁瑣。
[STM7解決方案]
能一目了然確認當前狀態(tài)的計數(shù)器
計數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈，可以簡單的實現(xiàn)對設(shè)備當前設(shè)定狀態(tài)的確認。X、Y和Z軸的zui小單位可以在
0.1 μm和1 μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
可滿足個性化需求自由放置的可拆卸式計數(shù)器
無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上，可拆卸式計數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習慣放置在zui佳位置。當用戶站
著進行測量時，可以將計數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè)，以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當用戶通過數(shù)碼相
機在顯示器上進行觀察和測量，或使用電動Z軸調(diào)焦機型時，只需將計數(shù)器和操作裝置放在工作臺上即可輕松地坐在椅子上進
行作業(yè)。
計數(shù)器安裝在鏡架上 |
計數(shù)器放置在工作臺上 |
高度測量：聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)
實現(xiàn)更快、更簡單、更精確的高度測量
[[常見問題]
進行目視測量時，不同的操作者會測得不同的高度測量值。此外，這種測量方法非常耗時，效率低下。
[STM7解決方案]
具有優(yōu)越的重復(fù)性、簡單且高度精確的聚焦系統(tǒng)
通過將圖案投影在視場范圍內(nèi)，由操作者確認上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測量操作。普通的目測觀察進行高度測量時，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)完全合焦的圖像，也會出現(xiàn)微小誤差。而使用奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)，只需匹配標記便可進行測量，因此減少了操作者的主觀性對測量結(jié)果造成的影響。
目視高度測量
聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)
自動聚焦的優(yōu)勢成就快速、高精度的高度測量
[常見問題]
Ÿ 進行目視測量時，不同的操作者得出的高度測量結(jié)果也會不一樣。
Ÿ 手動高度測量需要操作者反復(fù)進行移動載物臺，使用旋鈕調(diào)焦的操作，這使測量既耗時又低效。
Ÿ 很難對微小的物體聚焦，比如引線。
[STM7解決方案]
快速、精準的聚焦和不受操作者主觀影響的測量
奧林巴斯開發(fā)了STM7系列專用的自動聚焦單元，該單元在實現(xiàn)快速聚焦的同時，保障了卓越的對焦重復(fù)性。因此，無論操作
者的經(jīng)驗如何，均可以在很短的時間內(nèi)實現(xiàn)高度精確的高度測量。無論操作者的經(jīng)驗如何，使用STM7專用自動對焦單元均可
以在zui短時間內(nèi)實現(xiàn)高度精確的高度測量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面，利用主動反射、共聚焦方法都可以實現(xiàn)穩(wěn)定對焦，而小直徑的激光，也能保證對微小物體，比如引線的自動對焦。
單次對焦模式
執(zhí)行自動聚焦后，可瞬間完成從大致的聚焦狀態(tài)轉(zhuǎn)為視場中心的清晰對焦。
跟蹤模式
啟用具有特色的追蹤模式后會隨樣品表面的高低起伏自動對焦，即使在移動工作臺的情況下，也可以始終保持合焦狀態(tài)。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情況下也能實施觀察，從而極大地提高了Z軸的測量效率。
旋轉(zhuǎn)載物臺
使用微調(diào)旋鈕可以輕松實現(xiàn)對樣品的平行對齊。
測量支持系統(tǒng)
即使對復(fù)雜形狀也能實現(xiàn)更快、更簡單、更精確的測量
對于顯示測量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量。為了支持高精度、高復(fù)雜性的測量，奧林巴斯測量軟件可以和數(shù)碼照相機結(jié)合使用。
拓寬了測量觀察范圍的配件
編碼物鏡轉(zhuǎn)換器
 |
將編碼物鏡轉(zhuǎn)盤與數(shù)碼照相機配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率，
以方便您記錄倍率。同時切換倍率時也能與軟件中記錄的校準值和光強連動調(diào)整設(shè)置。
有明場物鏡和明暗場物鏡兩種供您選擇。 |
MM6-EMO正像單目鏡筒
 |
正立圖像用單目鏡筒?？膳cMM6-OCC10×（帶十字線的目鏡）配套使用。 |
STM7-FS腳踏開關(guān)
 |
實現(xiàn)了不需要用手進行數(shù)據(jù)傳輸，使操作者可以在手不離開X和Y手柄的情況下完成測量。 |
SZ-LW61白光LED照明裝置
 |
具有小型，輕便，使用壽命長，功耗低等特點。此外，
這款高性價比的LED照明單元也不會發(fā)生閃爍和亮度波動。 |
SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環(huán)形照明+手動控制裝置
 |
SZX-RHS手動控制單元可以實現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨立照明，
并提供具有較高色溫的清晰圖像?？梢詮?3種模式中選擇最佳的照明。 |
旋轉(zhuǎn)載物臺
使用微調(diào)旋鈕可以輕松實現(xiàn)對樣品的平行對齊。
STM7-RS100
STM7-CS100 100mm×100mm載物臺 |
STM7-RS200
STM7-CS200 200mm×200mm載物臺 |
STM7-RS300
STM7-CS300 300mm×300mm載物臺 |
STM7規(guī)格
| |
小型手動鏡架
STM7-SF |
小型電動鏡架
STM7-SFA |
中型手動鏡架
STM7-MF |
中型電動鏡架
STM7-MAF |
大型手動鏡架
STM7-LF |
大型鏡架
STM7-LFA |
顯微鏡
鏡架 |
聚焦 |
垂直移動范圍 |
175 mm |
145 mm |
| zui大的測量高度 |
120 mm（配備測量物鏡）
175 mm（配備金相物鏡） |
90 mm（配備測量物鏡）
145 mm*1（配備金相物鏡） |
| Z軸測量分辨率 |
0.1 μm |
| Z軸驅(qū)動方法 |
手動同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕 |
電馬達驅(qū)動：
●聚焦按鈕：
移動速度
8 mm/s（zui大）
●微/粗調(diào)焦旋鈕：
微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn)
一周移動量）
有4檔可供選擇
(800 μm，400μm,
100 μm，50 μm) |
手動同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕 |
電馬達驅(qū)動：
●聚焦按鈕：
移動速度
8 mm/s（zui大）
●微/粗調(diào)焦旋鈕：
微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn)
一周移動量）
有4檔可供選擇
(800 μm，400μm,
100 μm，50 μm) |
手動同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕 |
電馬達驅(qū)動：
●聚焦按鈕：
移動速度
8 mm/s（zui大）
●微/粗調(diào)焦旋鈕：
微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn)
一周移動量）
有4檔可供選擇
(800 μm，400μm,
100 μm，50 μm) |
| 照明 |
LED照明 |
白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明 |
| 鏡筒 |
正像單目鏡筒，正像三目鏡筒(100:0/0:100) |
| 物鏡 |
測量顯微鏡用 |
MM6-OB系列 |
| 金相顯微鏡用 |
MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列 |
| 目鏡 |
MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22) |
| 載物臺 |
測量范圍 |
STM7-CS50:
X軸 50 mm, Y軸 50 mm
STM7-CS100:
X軸 100 mm, Y軸 100 mm |
STM7-CS200:
X軸 200 mm, Y軸 200 mm |
STM7-CS300:
X軸 300 mm, Y軸 300 mm |
測量精確度
(L：測量長度) |
STM7-CS50: (3+L/50) μm
STM7-CS100: (3+2L/100) μm |
(3+4L/200) μm |
(3+6L/200) μm |
| 精確度保證重量 |
STM7-CS50: 5 kg
STM7-CS100: 6 kg |
10 kg |
15 kg |
| 計數(shù)器顯示 |
軸數(shù) |
3軸 |
| 單位 |
毫米/微米/英寸/密耳 |
| zui小分辨率 |
0.1 μm |
| 外形尺寸（寬×長×高）（mm） |
466 x 583
x651 |
466 x 583 x 811 |
606 x 762 x 651 |
606 x 762 x 811 |
804 x 1024 x 686 |
804 x 1024 x 844 |
| 重量 |
約84 kg |
約92 kg |
約152 kg |
約159 kg |
約277 kg |
約284 kg |
| 額定功率 |
100-120/220-
240V ~
50/60Hz
0.3A/0.2A |
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A |
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A |
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A |
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A |
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A |
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時，可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
物鏡工作距離
| 倍率 |
1x |
3x |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
| 物鏡 |
| 測量物鏡 |
MM6-OB系列 |
59.6 |
76.8 |
65.4 |
50.5 |
- |
- |
- |
| 金相物鏡 |
MPLFLN系列 |
明場 |
- |
- |
20.0 |
11.0 |
3.1 |
1.0 |
1.0 |
| LMPLFLN系列 |
長工作距離 |
- |
- |
22.5 |
21.0 |
12.0 |
10.6 |
3.4 |
| MPLFLN-BD系列 |
明場/暗場 |
- |
- |
12.0 |
6.5 |
3.0 |
1.0 |
1.0 |
| LMPLFLN-BD系列 |
明場/暗場
長工作距離 |
- |
- |
15.0 |
10.0 |
12.0 |
10.6 |
3.3 |
